对真空炉的维修方案

　　真空炉的长期的运行使用中，也会发生一些故障问题，所以需要对其进行维修，对于不同的故障部位，需要采取不同的维修方案。
　　（1）检查真空炉真空仪表是否在有效期使用范围之内，同时检查真空规管的安装是否存在漏气现象。
　　（2）滑阀泵维修方案：检查滑阀泵内部部件配合间隙磨损情况，滑阀泵的轴头密封圈是否漏油，排气装置的排气阀片的密封情况，真空油路密封情况，真空泵油是否污染及测试滑阀泵的极限真空度。
　　（3）罗茨泵维修方案：检测罗茨泵转子与转子之间、转子与泵腔内壁之间的间隙，检查齿轮及轴承磨损情况，罗茨泵的轴头密封圈情况，罗茨泵两端的润滑油是否污染及测试罗茨泵的极限真空度。
　　（4）对连接滑阀泵、罗茨泵和扩散泵的管道密封进行检漏，对前级阀阀杆的密封进行检漏，对防爆装置的密封等处进行检漏，保证上述密封处不漏气。
　　（5）炉体外部漏气部位维修方案：对真空炉炉门密封、主阀阀杆密封、气动球阀阀杆密封、放气阀阀芯密封、防爆阀阀芯密封、预抽阀阀杆密封、热电偶密封和加热电极密封等处密封进行检漏。
　　针对真空炉的不同部位，在进行故障检修时，需要采取不同的方法，所以维修方案也会有所不同，这样才能更有针对性的解决故障问题。